產品名稱：紅外氣體傳感器

產品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

紅外氣體傳感器產品特性

（1）使用NDIR技術，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設計，便于集成

紅外氣體傳感器技術參數(shù)